日本Okksg高照度UV照射機(jī)半導(dǎo)體晶圓制造

日本Okksg高照度UV照射機(jī)半導(dǎo)體晶圓制造 UVI-MA-系列 特點(diǎn)介紹

高功率、低成本。

盡管它具有緊湊的桌面設(shè)計(jì)，

但它可以適應(yīng)各種工作尺寸。

黑光規(guī)格手動(dòng)UV照射機(jī)是一種臺(tái)式UV照射設(shè)備，可固化UV固化膠帶漿料、粘合劑等。

標(biāo)準(zhǔn)365nm波長(zhǎng)燈非常適合固化UV固化樹脂材料，例如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中的背磨過程中剝離晶圓保護(hù)膜以及切割后拾取芯片，

并且用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種應(yīng)用

打開頂蓋，放置工件，通過操作開關(guān)進(jìn)行UV照射。

照射條件可以通過前面的觸摸面板輕松輸入。

當(dāng)達(dá)到設(shè)定的累積照射量（或累積時(shí)間）時(shí)，燈將關(guān)閉，并且蜂鳴器會(huì)發(fā)出聲音通知您。

通過使用36W黑光，以低成本實(shí)現(xiàn)高照度（超過10mW/cm2）。

照度的均勻性也得到了改善。（與我們的傳統(tǒng)型號(hào)相比）

日本Okksg高照度UV照射機(jī)半導(dǎo)體晶圓制造 UVI-MA-系列 規(guī)格參數(shù)

通過使用36W黑光，以低成本實(shí)現(xiàn)高照度（超過10mW/cm2）。

照度的均勻性也得到了改善。（與我們的傳統(tǒng)型號(hào)相比）

可選擇的照射模式

對(duì)于照射設(shè)置，可以任意設(shè)置累積光量或照射時(shí)間。通過觸摸屏輕松設(shè)置。

您可以從 8 種食譜中進(jìn)行選擇。

N2吹掃功能

氮?dú)獯祾吖δ芸煞乐挂蜓跻种贫鴮?dǎo)致固化失敗。

具有監(jiān)控功能

實(shí)時(shí)監(jiān)控照度和溫度。一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)會(huì)發(fā)出警報(bào)通知您。

優(yōu)異的維護(hù)性

由于它是一個(gè)開/關(guān)系統(tǒng)，因此不僅易于使用，而且易于維護(hù)，例如檢查燈泡是否燒壞和更換燈泡。